[发明专利]一种MOS栅控晶闸管有效

专利信息
申请号: 201811525422.5 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109616518B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 胡飞;宋李梅;韩郑生;杜寰 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L29/745 分类号: H01L29/745;H01L29/749
代理公司: 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 代理人: 赵永刚
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种MOS栅控晶闸管。所述MOS栅控晶闸管包括阴极、栅极和阳极三个电极,其中,所述栅极包括NMOS和PMOS,所述MOS栅控晶闸管还包括N‑P‑N‑P四层结构区和P+扩散区,其中,所述N‑P‑N‑P四层结构区包括N+阴极区、P基区、N型漂移区、N+缓冲层和P+阳极区,所述N型漂移区中靠近所述P+扩散区的区域内设置N型埋层。本发明能够抑制基极电阻控制晶闸管BRT和发射极开关晶闸管EST开启过程中的snapback现象,从而能够解决多元胞开启不一致问题,提高器件工作可靠性。
搜索关键词: 一种 mos 晶闸管
【主权项】:
1.一种MOS栅控晶闸管,其特征在于,所述MOS栅控晶闸管包括阴极、栅极和阳极三个电极,其中,所述栅极包括NMOS和PMOS,所述MOS栅控晶闸管还包括N‑P‑N‑P四层结构区和P+扩散区,其中,所述N‑P‑N‑P四层结构区包括N+阴极区、P基区、N型漂移区、N+缓冲层和P+阳极区,所述N型漂移区中靠近所述P+扩散区的区域内设置N型埋层。
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