[发明专利]一种电子级超纯二氧化碳的生产方法及其产品

摘要

本发明属于气体生产领域，特别涉及一种电子级超纯二氧化碳的生产方法，还涉及通过该生产方法制得的电子级超纯二氧化碳产品。该生产方法由液体二氧化碳汽化、加热、脱硫、催化转化、吸附干燥、制冷、提纯等操作单元组成，用于提纯工业级或食品级二氧化碳至电子级超纯二氧化碳。该电子级超纯二氧化碳的生产方法适于大规模工业化生产，安全可靠；并且，依据该生产方法制得的电子级超纯二氧化碳产品中CO₂的纯度高达99.9995％以上，因此，满足精密电子工业等领域的苛刻标准与大规模需求。总之，本发明所提供的电子级超纯二氧化碳的生产方法及其产品可得到广泛应用，具有良好的市场前景。

主权项

1.一种电子级超纯二氧化碳的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：将带压气态二氧化碳(3)输入至二氧化碳脱硫罐(F1)中，二氧化碳脱硫罐(F1)输出脱硫后的二氧化碳气体(4)；所述脱硫后的二氧化碳气体(4)先进入回热器(E1)中预热，再进入加热器(EH1)加热至300～500℃，然后进入催化转化炉(F2)，催化转化炉(F2)输出脱烃后的二氧化碳气体(6)；所述脱烃后的二氧化碳气体(6)先进入回热器(E1)中回收热量，再进入水冷却器(WE2)，然后进入再生式干燥器，再生式干燥器输出脱水后的二氧化碳气体(9)；所述脱水后的二氧化碳气体(9)进入原料二氧化碳过冷器(RU1)，原料二氧化碳过冷器(RU1)输出过冷后的原料二氧化碳液体(13)；所述过冷后的原料二氧化碳液体(13)经节流为原料二氧化碳液体(14)；所述原料二氧化碳液体(14)进入第一级汽提塔(C1)的顶部，作为第一级汽提塔回流液；第一级汽提塔(C1)的塔顶输出含不凝气的粗二氧化碳(15)，所述含不凝气的粗二氧化碳(15)先进入第一级汽提塔冷凝器(RU2)，再进入塔顶分离器(G1)；塔顶分离器(G1)顶部输出含不凝气的粗二氧化碳气体(16)，塔顶分离器(G1)底部输出粗二氧化碳液体(17)，所述粗二氧化碳液体(17)回流至第一级汽提塔(C1)的塔顶；第一级汽提塔(C1)的塔釜输出液体粗CO2，并分流为两部分：第一部分液体粗CO2进入C1塔底再沸器(E2)蒸发为气体，接着返回第一级汽提塔(C1)内；第二部分液体粗CO2(18)进入第二级汽提塔(C2)的中部；第二级汽提塔(C2)的塔顶输出气体CO2，所述气体CO2先进入第二级汽提塔冷凝器(RU3)，再进入塔顶分离器(G2)；塔顶分离器(G2)顶部输出含不凝气的气相二氧化碳，塔顶分离器(G2)底部输出液相超纯二氧化碳(19)，其中，一部分液相超纯二氧化碳(19)回流至第二级汽提塔(C2)的塔顶，另一部分液相超纯二氧化碳(19)经产品二氧化碳过冷器(RU4)过冷后，输入至电子级超纯二氧化碳液体贮罐(CG3)中，即得电子级超纯二氧化碳产品；其中，所述第二级汽提塔(C2)设置有C2塔底再沸器(EH3)，所述第二级汽提塔(C2)的塔釜输出含高沸点杂质的液体CO2(22)。