[发明专利]一种碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法在审
| 申请号： | 201811527770.6 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109437954A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 吴彪;贾林涛;邵忠 | 申请（专利权）人： | 上海康碳复合材料科技有限公司;福建康碳复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83;C04B35/622 |
| 代理公司： | 上海市海华永泰律师事务所 31302 | 代理人： | 包文超 |
| 地址： | 201814 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法。与传统石墨材质的承载框相比，碳/碳复合材料力学性能优于石墨，而且能够适应PECVD高温，高真空度，等离子体溅射等恶劣的镀膜环境。此外，本发明采取CVI(化学气相沉积)工艺制备的碳/碳板材力学性能更佳，碳/碳复合材料承载框表面沉积碳化硅涂层后，承载框的耐酸洗性能得到增强，进而大大减少了承载框更换频次，提高了其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 承载框 碳/碳复合材料 力学性能 制备 等离子体溅射 化学气相沉积 耐酸 碳化硅涂层 碳/碳板材 表面沉积 传统石墨 高真空度 工艺制备 使用寿命 石墨 镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)预制体成型，将聚丙烯氰碳布与无纬布进行铺层，然后进行Z向穿刺，制得预制体板；2)预制体板石墨化处理，根据制备产品规格，选择相应尺寸的预制体板置于高温炉中石墨化处理；3)装炉，将预制体板密排放置于沉积炉内；4)吹扫，用高纯Ar或高纯N2对整个高温气相沉积炉内进行吹扫；5)开启冷却水循环系统；6)升温；7)快速沉积，将碳源气体从高温气相沉积炉顶部或底部通入，制得密度1.1～1.3g/cm3的复合材料坯体；8)石墨化处理，将上述步骤7)制备的复合材料板材坯体放入高温热处理炉中处理；9)涂层工艺，石墨化处理后的坯体表面沉积碳化硅涂层；10)机加工处理，将涂层后的坯体根据承载框最终结构设计进行精细机加工，碳/碳复合材料承载框制备完成。
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