[发明专利]光扫描装置有效
| 申请号： | 201811528167.X | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109960028B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 须藤康之;若杉崇弘 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光扫描装置，即使被驱动部与压电传感器的距离接近也能够使对压电传感器的应力集中缓和。本光扫描装置具有：一对扭梁，其沿着预定的轴配置于反射镜的两侧并使所述反射镜绕所述轴进行摆动；一对连结梁，其与所述扭梁分别连结；以及压电传感器，其形成在所述连结梁上，并对因所述反射镜的绕所述轴的摆动而发生的所述连结梁的位移进行检测，所述压电传感器具备：下部电极；压电薄膜，其层叠在所述下部电极上；以及上部电极，其层叠在所述压电薄膜上，所述压电薄膜的底面与侧面形成倾斜角θ，所述倾斜角θ为0°＜θ≤50°。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光扫描装置，其特征在于，具有：一对扭梁，其沿着预定的轴配置于反射镜的两侧并使所述反射镜绕所述轴进行摆动；一对连结梁，其与所述扭梁分别连结；以及压电传感器，其形成在所述连结梁上，并对因所述反射镜的绕所述轴的摆动而产生的所述连结梁的位移进行检测，所述压电传感器具备：下部电极；压电薄膜，其层叠在所述下部电极上；以及上部电极，其层叠在所述压电薄膜上，所述压电薄膜的底面与侧面形成倾斜角θ，所述倾斜角θ为0°＜θ≤50°。
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