[发明专利]压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201811529259.X | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109682364B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 杨健;韩国威;司朝伟;王晓东;宁瑾;颜伟;刘雯;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪，该压电MEMS解耦结构，包括：一T型梁结构，包括一体化的横梁和纵梁，该T型梁结构自下而上依次包括：衬底、下电极层和压电材料层；第二上电极，作为检测电极，呈T型，位于T型梁结构之上，关于纵梁中心线对称；以及第一上电极和第三上电极，作为驱动电极，位于纵梁之上，对称分布于纵梁中心线两侧，与第二上电极位于纵梁上的部分相互独立。该解耦结构通过将其整体形状设置为一包含一体化横梁和纵梁的T型梁结构，并在该T型梁结构上设置关于纵梁中心线对称的T型检测电极和在纵梁上对称分布的两个驱动电极，实现了完全解耦，可有效提高陀螺仪的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 结构 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种压电MEMS解耦结构，其特征在于，包括：一T型梁结构(1)，包括一体化的横梁(11)和纵梁(12)，该T型梁结构(1)自下而上依次包括：衬底(101)、下电极层(102)和压电材料层(103)；第二上电极(142)，作为检测电极，呈T型，位于所述T型梁结构(1)之上，关于纵梁中心线(120)对称；以及第一上电极(141)和第三上电极(143)，作为驱动电极，位于所述纵梁(12)之上，对称分布于纵梁中心线(120)两侧，与所述第二上电极(142)位于纵梁(12)上的部分相互独立。
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