[发明专利]伴随射频导入的电加热喷淋板及其温控系统

摘要

本发明涉及一种电加热喷淋板及其控温系统，该系统通过电加热器、热电偶和温控器的配合实现温度的精准控制。此种喷淋板可以加热至400℃以下，其温度上限主要受加热丝及喷淋板的材料限定，若系统可以使用更耐高温的材料，则可以突破400℃的温度限制。实现了在不增加滤波器的情况下，以喷淋板为上电极导入射频，它既可以满足高温(200℃以上)需求，又可以拆分清洗，既不增加设备占地面积，又降低了设备成本。

主权项

1.伴随射频导入的电加热喷淋板，其特征在于，包括主体结构、加热器、热电偶、接地法兰(1)，主体结构上放置加热器和热电偶(2)，所述加热器和热电偶(2)均接地。