[发明专利]一种纳秒级脉冲激光波形测量装置

摘要

本发明公开了一种纳秒级脉冲激光波形测量装置。该测量装置中，被测平行光束通过会聚透镜后，进入分光镜组，分成多束光，每路光束依次通过衰减器、取样镜、能量计和半导体光电探测器，半导体光电探测器输出电信号通过电缆进入示波器；各路光按顺序与示波器通道一一对应，示波器测试数据通过网线送入计算机。示波器的最后一个通道波形为完整脉冲波形，对应光路的半导体光电探测器工作于线性动态区间内，其余通道对应光路半导体光电探测器工作于饱和区内；示波器各通道脉冲波形依次拼接获得具有高对比度的脉冲波形。该测量装置在确保测量设备处于安全运行状态下可以获得大的线性测量范围，特别适用于高功率激光装置纳秒级脉冲激光波形的测量。

主权项

1.一种纳秒级脉冲激光波形测量装置，其特征在于：所述的测量装置包括沿光路顺序排列会聚透镜（1）、级联分光组件（2）、衰减器组件（3）、能量监测组件（4）和半导体光电探测器组件（5），半导体光电探测器组件（5）输出的电信号通过电缆（11）传输至示波器（12）后，经网线（13）传输至计算机（14）；所述的级联分光组件（2）包括m组分光镜（6），各组分光镜（6）输出光束间的能量比范围为0.8~1.2；所述的衰减器组件（3）包括与m组分光镜（6）一一对应的衰减器（7）；所述的能量监测组件（4）包括与m组衰减器（7）一一对应的m组取样镜（8），每个取样镜（8）配置有一个测量用能量计（9）；所述的半导体光电探测器组件（5）包括与m组取样镜（8）一一对应的m组半导体光电探测器（10）；m为分光路数，m≥3；所述的m组半导体光电探测器（10）具有相同的线性动态区间、灵敏度和响应带宽；每组半导体光电探测器（10）的饱和截止特性即饱和最大输出幅度值小于示波器（12）的最大输出。