[发明专利]溅射靶材用铜铬镍硅合金背板的制作方法在审
| 申请号： | 201811532361.5 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111321361A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;周友平;边逸军;庞学功;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/08 | 分类号： | C22F1/08;C22C47/08;C22C49/02;C23C14/35;B22D7/00;C22C49/14;C22C101/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种溅射靶材用铜铬镍硅合金背板的制作方法，包括：提供合金熔液；将所述合金熔液进行浇铸工艺，形成合金锭；将所述合金锭进行固溶处理工艺，所述固溶处理工艺温度为980℃‑1020℃，时间为1h‑2h。将所提供的合金熔液经过浇铸形成合金锭后，固溶处理工艺使所述合金熔液中的过剩相充分快速的溶解，为后续工艺提供保障，同时使形成的合金的硬度与电导率达到要求。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 靶材用铜铬镍硅 合金 背板 制作方法 | ||
【主权项】：
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