[发明专利]一种压力传感器在审
| 申请号： | 201811535030.7 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109374158A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;曹峰 | 申请（专利权）人： | 华景传感科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种压力传感器。该压力传感器包括：衬底；设置于所述衬底表面的单晶硅层；以及设置于所述单晶硅层表面的压感电阻、加热单元、测温单元和控制单元，所述控制单元分别与所述加热单元和所述测温单元电连接；所述加热单元设置于所述压感电阻周边。本发明实施例的方案提高了压力传感器的压力检测精度，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 加热单元 测温单元 电阻 单晶硅层表面 衬底表面 单晶硅层 压力检测 电连接 衬底 生产成本 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：衬底；设置于所述衬底表面的单晶硅层；以及设置于所述单晶硅层表面的压感电阻、加热单元、测温单元和控制单元，所述控制单元分别与所述加热单元和所述测温单元电连接；所述加热单元设置于所述压感电阻周边。
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