[发明专利]一种基于氧化物离子注入的选通材料、选通器单元及其制备方法有效
| 申请号： | 201811535870.3 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109545964B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 宋志棠;郭天琪;宋三年 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 宋缨 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供一种基于氧化物离子注入的选通材料、选通器单元及其制备方法，所述选通材料的化学通式为M |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 氧化物 离子 注入 材料 选通器 单元 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于氧化物离子注入的选通材料，其特征在于，所述选通材料的化学通式为MxOyAsz，其中，M是包括但不限于Hf、Ti、Ta或Zr中的任意一种元素，x、y、z均指元素的原子百分比，且满足x+y+z＝100，同时20
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