[发明专利]复合金刚石涂层及其制备方法、微流体通道和微流体器件

摘要

本发明公开了一种复合金刚石涂层及其制备方法、微流体通道和微流体器件，涉及涂层技术领域。该复合金刚石涂层包括中间层和形成在中间层表面的金刚石涂层，金刚石涂层的形核密度呈梯度变化，且复合金刚石涂层至少一部分表面具有亲水性，一部分表面具有疏水性；通过上述中间层和金刚石涂层的复合，可实现复合金刚石涂层具有结构及化学成分的梯度变化，在两种梯度变化以及表面亲疏水性的共同作用下，可有效控制复合金刚石涂层的表面湿润性，从而达到对与其接触的微流体进行有效驱动与控制的目的；另外，该复合金刚石涂层可表面功能化，还具有良好的化学稳定性和可重复性。本发明还提供了复合金刚石涂层的制备方法，该方法工艺简单，操作便利。