[发明专利]一种连续真空镀膜生产线用玻璃装夹装置测速机构在审
| 申请号： | 201811536972.7 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109406818A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续真空镀膜生产线用玻璃装夹装置测速机构，包括基片架，还包括光电传感器、PLC，在基片架底部的下横板上开设有一排穿透下横板的等距离分布的腰槽孔，在一侧的真空腔体壁上与腰槽孔对应位置处安装有光电传感器发射端，另一侧的真空腔体壁上安装有光电传感器接收端，光电传感器发射端、光电传感器接收端位于腰槽孔的中线上，PLC与光电传感器连接。本发明的测速机构通过基片架上等距离腰槽孔的设计,通过光电传感器接收端接收到穿过腰槽孔的的信号，PLC分析可以准确的定位到基片架行走的准确位置，位置能精确到毫米级别，也能计算和控制基片架速度，为控制镀膜的均匀性提供了可靠的依据。 | ||
| 搜索关键词： | 基片架 腰槽孔 光电传感器接收端 测速机构 光电传感器发射端 连续真空镀膜 光电传感器 真空腔体 装夹装置 下横板 等距离分布 玻璃 壁上安装 毫米级别 上等距离 准确位置 均匀性 位置处 镀膜 穿透 穿过 分析 | ||
【主权项】：
1.一种连续真空镀膜生产线用玻璃装夹装置测速机构，包括基片架，其特征在于：还包括光电传感器、PLC，在基片架底部的下横板上开设有一排穿透下横板的等距离分布的腰槽孔，在一侧的真空腔体壁上与腰槽孔对应位置处安装有光电传感器发射端，另一侧的真空腔体壁上安装有光电传感器接收端，光电传感器发射端、光电传感器接收端位于腰槽孔的中线上，PLC与光电传感器连接。
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