[发明专利]一种加载高温环境的压电式激励装置及其工作方法

摘要

一种加载高温环境的压电式激励装置及其工作方法，压电式激励装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元，微结构激励单元包括一个手动三轴位移台，在手动三轴位移台的Z轴溜板上安装有连接板，在连接板上通过螺纹安装有封装压电陶瓷，在封装压电陶瓷的顶部安装有微结构安装板，在微结构安装板的顶部粘接有MEMS微结构；光加热单元中使用了遮光片和遮光板，使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上；该发明的有益效果是：可以实现对MEMS微结构整体的同时加热，确保了微结构表面的温度分布均匀，降低了微结构表面的温度梯度，大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。

主权项

1.一种加载高温环境的压电式激励装置，压电式激励装置包括筒体（1）、电动两轴位移台（2）、安装板（3）、光加热单元（4）和微结构激励单元（5），其特征是：所述光加热单元（4）包括依次螺纹连接的前套筒（403）、连接套筒（402）和后套筒（401），在后套筒（401）尾部中心孔内安装有平行光源（415）；在连接套筒（402）前端设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯处设有圆形光学玻璃（417），在光学玻璃（417）上靠近后套筒（401）的表面中心处粘接有遮光片（416），在连接套筒（402）的前端面安装有环形压板（413），在压板（413）上圆周均布的安装有紧定螺钉（414），紧定螺钉（414）旋入压板（413）并顶紧在光学玻璃（417）上；在前套筒（403）前端中心处设有外环体（404），在外环体（404）上安装有两个第二导向轴（4071），第二导向轴（4071）穿过前套筒（403）前端面的突出部并连接在第二推板（412）上，在第二推板（412）中心处设有一个第二调节旋钮（4101）；第二调节旋钮（4101）穿过第二推板（412）的中心孔并螺纹连接在前套筒（403）前端面的突出部上，在第二推板（412）和前套筒（403）前端面的突出部之间设有第二复位弹簧（4081），第二复位弹簧（4081）套装在第二调节旋钮（4101）上；在外环体（404）前端中心处设有内环体（405），在内环体（405）上安装有第一导向轴（407），第一导向轴（407）穿过外环体（404）前端面的突出部并连接在第一推板（409）上，在第一推板（409）中心处设有第一调节旋钮（410），第一调节旋钮（410）穿过第一推板（409）的中心孔并螺纹连接在外环体（404）前端面的突出部上，在第一推板（409）和外环体（404）前端面的突出部之间设有第一复位弹簧（408），第一复位弹簧（408）套装在第一调节旋钮（410）上，用于调节内环体（405）的位置；在内环体（405）后端面上安装有遮光板（406），遮光板（406）中心处有矩形孔；在底板（6）上设有微结构激励单元（5），所述微结构激励单元（5）包括一个手动三轴位移台（501），在手动三轴位移台（501）的溜板上安装有连接板（502），在连接板（502）上通过螺纹安装有封装压电陶瓷（505），在封装压电陶瓷（505）的顶部安装有微结构安装板（504），在微结构安装板（504）的顶部粘接有MEMS微结构（503）；所述遮光板（406）上矩形孔的形状与MEMS微结构（503）的基底（5032）形状相同，所述遮光片（416）的形状与MEMS微结构（503）上镂空槽（5031）的形状相同。