[发明专利]一种简易的三轴MEMS加速度传感器在审
| 申请号： | 201811541155.0 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109596858A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;杨帆;王楠;梁应选;王明武;陈曼龙 | 申请（专利权）人： | 陕西理工大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 723001 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种简易的三轴MEMS加速度传感器，包括数个传感器，三维坐标系的三个方向上分别设置一个具有面内多梁结构的加速度传感器，坐标轴上的传感器在工作时互相之间不会产生干扰，可以有效地保障三个方向上的测量灵敏度和固有频率，提高测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 三轴 测量 简易 加速度传感器 三维坐标系 固有频率 梁结构 灵敏度 有效地 坐标轴 | ||
【主权项】：
1.一种简易的三轴MEMS加速度传感器，包括数个传感器，其特征在于：三维坐标系的三个方向上分别设置一个或数个传感器，传感器分别测量加速度、温度、速度、角度中的任意一种或几种量值，坐标轴上的传感器在工作时互相之间不会产生干扰；其中，所述传感器包括矩形的质量块、PCB板；其中，质量块相对的两个端面上分别设置两根敏感梁，每个端面上的两根敏感梁间隔平行的设置；质量块的另两个相对的端面上分别设置一根支撑梁；其中，支撑梁与敏感梁的轴线位于质量块的中心，并且，所述支撑梁、敏感梁与质量块形成面内复合多梁结构加速度传感器敏感结构；其中，每根敏感梁上安装一个压敏电阻和两块焊盘，所述压敏电阻通过引线分别与每块焊盘连接；同时每个压敏电阻和焊盘与外接的PCB板电连接成惠斯通电桥。
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