[发明专利]微LED转移头在审
申请号: | 201811541436.6 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN110021545A | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请(专利权)人: | 普因特工程有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 汪丽红 |
地址: | 韩国忠淸南道*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种将微发光二极管从第一基板传送到第二基板的微发光二极管转移头,尤其,涉及一种利用真空吸附方式传送微发光二极管的转移头。 | ||
搜索关键词: | 微发光二极管 真空吸附方式 第二基板 第一基板 传送 | ||
【主权项】:
1.一种微发光二极管转移头,其特征在于包括具有气孔的多孔性部件,对所述气孔施加真空或解除所施加的真空而传送微发光二极管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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