[发明专利]一种多层界面涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201811542939.5 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109608208B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 廖春景;董绍明;胡建宝;靳喜海;张翔宇;何平;丁玉生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C04B35/628 | 分类号： | C04B35/628;C04B35/80 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种多层界面涂层及其制备方法和应用，所述多层界面涂层包括依次交替形成在所述基底表面的SiBN涂层和Si |
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| 搜索关键词： | 一种 多层 界面 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种多层界面涂层，其特征在于，包括依次交替形成在所述基底表面的SiBN涂层和Si3N4涂层，所述SiBN涂层的层数n≥1，优选为2～5。
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