[发明专利]一种基于铪钛氧复合薄膜的柔性选通管器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811543852.X 申请日: 2018-12-17
公开(公告)号: CN109638154B 公开(公告)日: 2023-02-28
发明(设计)人: 叶葱;徐中;周易;熊文;刘磊;夏天 申请(专利权)人: 湖北大学
主分类号: H10N70/00 分类号: H10N70/00
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 杨采良
地址: 430062 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开一种基于铪钛氧复合薄膜的柔性选通管器件及其制备方法,所述选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、功能层和顶电极,其中:所述功能层材料为铪钛氧复合薄膜;所述柔性衬底为聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的任一种;底电极优选为ITO;所述功能层是将二元过渡金属氧化物HfO2、TiO2共溅射制得;顶电极采用Pt金属。本发明是通过磁控溅射、光刻、剥离等技术制备各层薄膜。本发明的优点是:室温下制备、工艺简单、成本低廉;选通管阈值电压和保持电压离散度低;柔性抗弯曲特性优良。本发明的柔性选通管器件可以用于解决阻变存储器三维集成后面临的串扰电流问题,具有较强的发展潜力及应用前景。
搜索关键词: 一种 基于 铪钛氧 复合 薄膜 柔性 选通管 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种基于铪钛氧复合薄膜的柔性选通管器件,其特征在于:所述选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、功能层和顶电极,其中:所述功能层材料为铪钛氧复合薄膜。
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