[发明专利]一种基于铪钛氧复合薄膜的柔性选通管器件及其制备方法有效
申请号: | 201811543852.X | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN109638154B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 叶葱;徐中;周易;熊文;刘磊;夏天 | 申请(专利权)人: | 湖北大学 |
主分类号: | H10N70/00 | 分类号: | H10N70/00 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 杨采良 |
地址: | 430062 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: |
本发明公开一种基于铪钛氧复合薄膜的柔性选通管器件及其制备方法,所述选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、功能层和顶电极,其中:所述功能层材料为铪钛氧复合薄膜;所述柔性衬底为聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的任一种;底电极优选为ITO;所述功能层是将二元过渡金属氧化物HfO |
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搜索关键词: | 一种 基于 铪钛氧 复合 薄膜 柔性 选通管 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于铪钛氧复合薄膜的柔性选通管器件,其特征在于:所述选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、功能层和顶电极,其中:所述功能层材料为铪钛氧复合薄膜。
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