[发明专利]压电材料层及柔性压电器件的制备方法在审
申请号: | 201811544199.9 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN109703011A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 冯雪;刘兰兰;陈颖;唐瑞涛;张柏诚;王志建;蒋晔 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院 |
主分类号: | B29C64/112 | 分类号: | B29C64/112;B29C64/20;B29C64/393;H01L41/45;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y50/02;B33Y80/00;B33Y70/00;B29K27/12;B29L31/34 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 孙燕娟 |
地址: | 314000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种基于EHD喷墨打印设备,同一制程中实现不同材料的打印,从而制备压电材料层及压电器件的方法,在简化操作步骤、实现混合打印的同时,还可以在打印PVDF压电材料层的过程中提高β晶型含量。为了提高打印精度,本发明还在EHD喷墨打印设备的参数如电压、液滴大小方面做了调整,同时对于各层结构的打印浆料的配方也做了改进。本发明的制备方法,打印的液滴流动顺畅,并保持细小均匀的喷射流,能够实现精确打印。 | ||
搜索关键词: | 打印 压电材料层 制备 喷墨打印设备 压电器件 液滴 简化操作步骤 层结构 喷射流 浆料 制程 配方 流动 改进 | ||
【主权项】:
1.一种压电材料层的制备方法,该压电材料层的材质为聚偏氟乙烯,其特征在于:包括下列步骤:提供电流体动力学喷墨打印设备,其具有打印喷头、位于该打印喷头出口处的喷嘴、打印平台、位于该打印平台上的接收基板、以及分别与该喷嘴及该接收基板连接的电压控制系统;在该打印喷头内装入压电打印浆料;设置该电压控制系统对该喷嘴施加的电压为1.5‑2.0kV,设置从喷嘴出来的液滴大小为0.5‑2.0pl;以及调整该打印平台及该喷嘴,使该打印喷头的喷嘴对准该接收基板,按照压电材料层对应的图案打印该压电材料层。
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