[发明专利]一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法在审
| 申请号： | 201811544420.0 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109854494A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 成永军;郭美如;习振华;王永军;裴晓强;董猛;赵澜;盛学民;汪宁 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00;F04B37/14 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 代丽;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法。使用本发明能够实现微型真空泵抽速的精确测量。本发明使用固定流导法气体流量计，既能产生微小流量、又能保持长时间提供稳定气体流量，解决了微型真空泵抽速测量中所需微小稳定气体流量的难题；同时，避免了通常超高真空泵抽速测试用测试罩上下对称结构的方法，减小了测试罩内表面积，减小了测试罩表面积放气影响量，提高了测量准确性，实现了微型真空泵抽速的准确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 抽速 微型真空泵 测量 固定流导法 流量计 测试 稳定气体 减小 上下对称结构 超高真空泵 气体流量计 时间提供 微小流量 准确测量 影响量 放气 | ||
【主权项】：
1.一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置，其特征在于，包括：气瓶(1)、第一抽气系统(3)、稳压室(7)、固定流导小孔(9)、测试罩(12)、第二抽气系统(16)、第一真空计(6)和第二真空计(11)，外围设备为待测微型真空泵(14)；其中，测试罩(12)为没有上下测量室的测试罩；其中，气瓶(1)通过第一阀门(2)、第三阀门(5)与稳压室(7)相连；第一抽气系统(3)通过第二阀门(4)、第三阀门(5)与稳压室(7)相连；稳压室(7)通过第四阀门(8)、固定流导小孔(9)、第五阀门(10)与测试罩(12)连接；待测微型真空泵(14)通过第六阀门(13)与测试罩(12)连接；第二抽气系统(16)通过第七阀门(15)与测试罩(12)连接；第一真空计(6)用于测量稳压室(7)中气体压力；第二真空计(11)用于测量测试罩(12)中气体压力。
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