[发明专利]一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法在审
| 申请号： | 201811545201.4 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109536886A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，提供了一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法，所述蒸镀装置，包括：加热坩埚，用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发；磁板，位于所述加热坩埚上方，具有磁性，用于固定待蒸镀的目标基板；所述磁板内设置有两个以上的磁性物，且所述磁板的磁性由中部至边缘递减。上述技术方案的蒸镀装置中磁板的磁性由中部向边缘递减，从而对目标基板中部的吸力大于边缘，减小目标基板的滑移与金属掩膜板的褶皱，可提高金属掩膜板与基板的贴合程度，不仅避免蒸镀有机膜图案出现异常，而且有利于减小目标基板破片风险，提高金属掩膜板寿命，从而有效提高生产效率，保证了产品的品质和生产进度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 目标基板 蒸镀装置 金属掩膜板 磁板 加热坩埚 减小 递减 吸力 褶皱 有机膜图案 生产进度 生产效率 蒸镀材料 磁性物 中磁板 滑移 基板 破片 贴合 加热 蒸发 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热坩埚，用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发；磁板，位于所述加热坩埚上方，具有磁性，用于固定待蒸镀的目标基板；其特征在于，所述磁板内设置有两个以上的磁性物，且所述磁板的磁性由中部至边缘递减。
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