[发明专利]超结结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201811546267.5 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111341830B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 肖胜安 | 申请（专利权）人： | 深圳尚阳通科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超结结构，由两层超结子结构叠加而成，两层P型子柱都由填充于对应的子沟槽中的P型子外延层组成，子沟槽都为侧面倾斜且顶部宽度大于底部宽度的结构，位于底层的第一超结子结构的最佳电荷平衡加正负5％的变化范围对应的位置设置在纵向中心位置并使第一超结子结构的最大电场强度的位置趋于纵向中心位置处且具有第一值，第二超结子结构中的最大电场强度值为第二值，第一值大于第二值使整个超结单元结构的击穿位置趋于第一超结子结构的纵向中心位置处。本发明还公开了一种超结结构的制造方法。本发明能提高器件性能如击穿电压和雪崩耐量的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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