[发明专利]一种真空紫外偏振棱镜在审
| 申请号： | 201811546276.4 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109407197A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 朱一村;廖洪平;张星;陈伟;陈秋华 | 申请（专利权）人： | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/11;G02B27/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350003 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明专利涉及一种真空紫外偏振棱镜，包括两片CLBO晶体棱镜，其特征在于所述的真空紫外为180‑200nm，偏振棱镜的两片CLBO晶体棱镜结构一样，顶角为38.9°±1°，形状为两个直角梯形，CLBO晶体棱镜的斜面耦合对称形成长方体结构，中间采用空气隙连接；两片CLBO晶体棱镜的光轴均与o光溢出面垂直，自然光从CLBO晶体棱镜入射到空气隙中时，o光在斜面发生全反射，从真空紫外偏振棱镜侧面抛光面溢出；此时e光从CLBO晶体棱镜折射到空气隙中，进入另一块CLBO晶体后平行出射，从而保证了出射光为完全的偏振光，使用波长在真空紫外180‑200nm，消光比<5×10‑6。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体棱镜 偏振棱镜 空气隙 溢出 偏振光 长方体结构 直角梯形 自然光 耦合 出射光 面垂直 抛光面 全反射 消光比 波长 出射 顶角 光轴 入射 对称 平行 折射 侧面 保证 | ||
【主权项】：
1.本发明涉及一种真空紫外偏振棱镜，包括两片CLBO晶体棱镜，其特征在于所述的真空紫外为180‑200nm，偏振棱镜的两片CLBO晶体棱镜结构一样，顶角为38.9°±1°，形状为两个直角梯形，CLBO晶体棱镜的斜面耦合对称形成长方体结构，中间采用空气隙连接；两片CLBO晶体棱镜的光轴均与o光溢出面垂直，自然光从CLBO晶体棱镜入射到空气隙中时，o光在斜面发生全反射，从真空紫外偏振棱镜侧面抛光面溢出；此时e光从CLBO晶体棱镜折射到空气隙中，进入另一块CLBO晶体后平行出射，从而保证了出射光为完全的偏振光，使用波长在真空紫外180‑200nm，消光比<5×10‑6。
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