[发明专利]真空腔室用旋转伸缩密封结构有效
申请号: | 201811547334.5 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN111336338B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 王翔宇;边弘晔;赵治国;林峰雪;常志勇;刘恩龙 | 申请(专利权)人: | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
主分类号: | F16L39/04 | 分类号: | F16L39/04;F16J15/46 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 何丽英 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属于真空腔室密封技术领域,特别涉及一种真空腔室用旋转伸缩密封结构。包括旋转运动输出接头、外壳、旋转驱动机构、旋转伸缩轴,其中旋转伸缩轴插设于外壳内、且具有轴向移动和旋转的自由度,旋转伸缩轴的一端与旋转运动输出接头连接,另一端与旋转驱动机构连接,旋转伸缩轴和外壳之间设有密封空腔,外壳上设有与密封空腔连通的气孔。本发明在需要旋转伸缩运动时不需要保证密封性,在保证密封性时不需要进行运动,本发明适用于同时需要两种运动的工作情况下。 | ||
搜索关键词: | 空腔 旋转 伸缩 密封 结构 | ||
【主权项】:
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