[发明专利]一种多角度矩形深截止宽带带通滤光片的制作方法在审
| 申请号： | 201811547453.0 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109491004A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 姚德武;马孜;肖琦;王平秋 | 申请（专利权）人： | 西南技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 祁恒 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于带通滤光片技术领域，具体涉及一种特别适用于用于905纳米激光器及其应用系统，同时同时具有适用多角度入射，通带高矩形度和禁带深截止性能的多角度矩形深截止宽带带通滤光片的制作方法。该方法包括如下步骤：确定理论膜系，以多腔滤光片的典型膜系结构为基础，通过多个干涉腔的叠加，确定滤光片的膜系结构；根据滤光片的膜系结构，在镀膜机内装入选定的镀膜材料，采用偏心监控的控制方式，通过监控基板上监控点的透射光强度来控制镀膜进程的实现，完成滤光片的制作。本发明采用多腔滤光片，通过多个单腔设计的堆叠，可以很好地提高矩形度、截止度，加宽通带带宽；采用偏心监控的控制方式，能够有效提高镀膜有效面积。 | ||
| 搜索关键词： | 带通滤光片 膜系结构 滤光片 多腔滤光片 控制方式 偏心监控 镀膜 宽带 制作 截止 纳米激光器 镀膜材料 监控基板 截止性能 通带带宽 应用系统 有效面积 镀膜机 干涉腔 高矩形 监控点 截止度 矩形度 透射光 加宽 单腔 堆叠 禁带 膜系 入射 通带 叠加 装入 进程 | ||
【主权项】：
1.一种多角度矩形深截止宽带带通滤光片的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括如下步骤：S1、确定理论膜系，以多腔滤光片的典型膜系结构为基础，通过多个干涉腔的叠加，确定滤光片的膜系结构；S2、根据所述滤光片的膜系结构，在镀膜机内装入选定的镀膜材料，采用偏心监控的控制方式，通过监控基板上监控点的透射光强度来控制镀膜进程的实现，完成滤光片的制作。
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