[发明专利]一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒添加剂及其应用在审
| 申请号： | 201811547579.8 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109355711A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张占香 | 申请（专利权）人： | 张占香 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市金鸡湖大道*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒添加剂，包括以下组分及其质量百分比：甜菜碱7.2～8.7％，咪唑啉0.3～0.8％，有机溶剂2.1～4.5％，抗再沉淀剂0.3～1.1％，及余量的去离子水。本发明中的添加剂在多晶硅片制绒过程中，能有效调节制绒液中酸与硅的反应，达到去除多晶硅片表面油污及损伤层的目的，且硅片表面绒面均匀性好，硅片腐蚀坑内结构更加精细化，反射率比常规无添加剂制绒后的金刚线切割多晶硅片反射率低8～13％。该添加剂在生产过程中工艺简单，原材料廉价，稳定性好，无其他过程副产品，不产生对环境毒害物质，是一种绿色环保产品。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅片 线切割 制绒添加剂 反射率 制绒 添加剂 绿色环保产品 抗再沉淀剂 绒面均匀性 质量百分比 表面油污 硅片表面 硅片腐蚀 环境毒害 去离子水 生产过程 无添加剂 有机溶剂 有效调节 精细化 内结构 损伤层 甜菜碱 制绒液 咪唑啉 去除 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒添加剂，其特征在于，包括如下组分及其质量百分比：甜菜碱7.2～8.7％，有机溶剂2.1～4.5％，抗再沉淀剂0.3～1.1％，及余量的去离子水。
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