[发明专利]基于压电驱动的微扫描超分辨率控制系统及方法有效
| 申请号： | 201811547823.0 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111338387B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 黎鸿;孟森;杨丹丹;李丹;李冯帆 | 申请（专利权）人： | 上海乂义实业有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 | 代理人： | 衣然 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于压电驱动的微扫描超分辨率控制系统及方法，包括安装有特定透镜或者反射镜的二维压电高速高精度微扫描平台、小型化高频控制器以及图像算法处理器，二维压电高速高精度微扫描平台与光学系统中某一片特定透镜或者反射镜物理连接，探测器获得的原始图像数据传入图像算法处理器，二维压电高速高精度微扫描平台与小型化高频控制器进行控制数据传递，小型化高频控制器与上位机进行控制数据传递。本发明大幅度降低了控制系统设计生产难度，减小了控制系统尺寸，降低了系统成本，同时由于引入了温度补偿技术，从而可以大幅度提高微扫描系统的在大宽温条件下微扫描平台的定位精度，从而充分保证了微扫描超分辨系统的成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电 驱动 扫描 分辨率 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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