[发明专利]一种金属氧化物与碳纳米管复合的微梳齿结构储能电极在审
| 申请号： | 201811548345.5 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109659153A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 尤政;王晓峰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01G11/26 | 分类号： | H01G11/26;H01G11/30;H01G11/46;H01G11/36 |
| 代理公司： | 北京国林贸知识产权代理有限公司 11001 | 代理人： | 李富华 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于微储能器件领域的一种金属氧化物与碳纳米管复合的微梳齿结构储能电极。该储能电极为在玻璃基底上溅射集流体层，并刻蚀出梳齿电极结构，涂覆SU‑8胶形成梳齿微流道，在梳齿结构电极表面制备金属氧化物及金属氧化物与碳纳米管复合电极功能薄膜；制备该电极是首先通过刻蚀得到微梳齿结构；通过阴极共电沉积，在微梳齿电极表面沉积金属氧化物与碳纳米管复合功能薄膜，该电极具有独特的微观结构，碳纳米管形成了疏松多孔的空间网络结构，金属氧化物颗粒均匀的分布在碳纳米管空间网络结构的表面，显著提升电极的储能性能。比容量高达208.5mF/cm2，有效提升电容器能量密度、功率密度，可用于超级电容器电极。 | ||
| 搜索关键词： | 碳纳米管 梳齿结构 金属氧化物 电极 空间网络结构 储能电极 梳齿电极 储能 刻蚀 碳纳米管复合电极 超级电容器电极 金属氧化物颗粒 制备金属氧化物 复合 阴极 表面沉积金属 复合功能薄膜 电容器能量 储能器件 电极表面 功能薄膜 共电沉积 集流体层 疏松多孔 微观结构 比容量 玻璃基 微流道 氧化物 溅射 可用 梳齿 涂覆 制备 | ||
【主权项】：
1.一种金属氧化物与碳纳米管复合的微梳齿结构储能电极；其特征在于，在玻璃基底上溅射Ti或Au集流体层，并刻蚀出梳齿电极结构，在梳齿电极的梳齿之间和梳齿电极结构以外的玻璃基底上，涂覆SU‑8胶形成梳齿微流道，在梳齿结构电极表面制备金属氧化物及金属氧化物与碳纳米管复合电极功能薄膜；通过梳齿微流道的支撑作用，金属氧化物与碳纳米管复合电极功能薄膜能在梳齿电极上的大量沉积，附着牢固，不会因沉积过程中的剧烈搅拌而大量脱落；同时因碳纳米管的多孔结构使氧化物材料均匀沉积，改善微梳齿结构储能电极的储能性能。
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