[发明专利]一种用于检测结温的脉冲调制装置有效
申请号: | 201811548650.4 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN109596963B | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 李灏;翟玉卫;付少辉;梁法国;刘岩;郑世棋 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 付晓娣 |
地址: | 050051 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于检测结温的脉冲调制装置,用于检测半导体器件的结温,脉冲调制装置分别与CCD相机和电流发生装置相连,电流发生装置与半导体器件相连,CCD相机与监测控制装置相连;脉冲调制装置发出第一脉冲信号传输至CCD相机,脉冲调制装置发出第二脉冲信号传输至电流发生装置,脉冲调制装置检测半导体的电流,电流发生装置输出电流至半导体器件,光源发射装置发出入射光至半导体器件,CCD相机采集半导体器件的反射光生成对应的电信号,检测控制装置对电信号进行处理并计算得到半导体器件的结温。本发明提高了测结温过程的信噪比,保证了测量结温的准确性,只需要CCD相机采集两次反射光信号即可计算出结温。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 检测 脉冲调制 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于检测结温的脉冲调制装置,其特征在于,用于检测半导体器件的结温;所述脉冲调制装置分别与所述CCD相机和所述电流发生装置相连,所述电流发生装置与所述半导体器件相连,所述CCD相机与所述监测控制装置相连;所述脉冲调制装置发出第一脉冲信号传输至所述CCD相机,所述脉冲调制装置发出第二脉冲信号传输至所述电流发生装置,所述电流发生装置输出电流至所述半导体器件,所述光源发射装置发出入射光至所述半导体器件,所述CCD相机采集所述半导体器件的反射光生成对应的电信号,所述检测控制装置对所述电信号进行处理并计算得到所述半导体器件的结温。
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