[发明专利]一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法有效
| 申请号： | 201811549404.0 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109666909B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 鲁远甫;李锐;李光元;杨春雷;魏广路;佘荣斌 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/56;C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法。一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火；步骤四，在所述氧化钒缓冲层上再次形成氧化钒薄膜。上述方法制备过程简单，且容易控制，通过该制备方法所获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好、与聚酰亚胺结合紧密且不易脱落，为柔性氧化钒器件，例如氧化钒太赫兹探测器的制备奠定了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 缓冲 技术 制备 柔性 氧化 复合 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火；步骤四，在所述氧化钒缓冲层上再次形成氧化钒薄膜。
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