[发明专利]一种显影液辅助剂组合物及其配制方法在审
| 申请号： | 201811549453.4 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109521656A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 胡先萍 | 申请（专利权）人： | 珠海顺泽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 隋金艳 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明保护的显影液辅助剂组合物有着极佳的水洗性能，能有效减少污泥(sludge)或粘合剂(binder)反沾在板面上和显影槽壁，保持显影相关设备的洁净度，提升显影工艺的合格率。本发明保护的显影液辅助剂组合物能有效，维持稳定的显影速度、延长显影液的使用寿命、减少废液排放，降低显影段工艺的不合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 辅助剂组合物 显影 合格率 废液排放 使用寿命 水洗性能 维持稳定 显影槽壁 显影工艺 有效减少 粘合剂 洁净度 显影段 污泥 配制 | ||
【主权项】：
1.一种显影液辅助剂组合物，其特征在于所述显影液辅助剂组合物组分包括：质量百分比为5％‑10％的阴离子界面活性剂，质量百分比为10％‑20％的非离子界面活性剂，质量百分比为5％‑10％的二丙二醇甲醚，质量百分比为2％‑5％的碱性化合物，质量百分比为55‑78％的水。
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