[发明专利]一种内焦点式光学系统的自准直检测装置和方法在审
| 申请号： | 201811549762.1 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109405766A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李利;李金鹏;张凯迪 | 申请（专利权）人： | 中科院南京天文仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 210042 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种内焦点式光学系统的自准直检测装置和方法，包括平面干涉仪、高精度球面反射镜、待测内焦点光学系统及计算机装调软件；高精度球面反射镜实现对被测系统的自准直，干涉仪发射出平面波经过检测光路后，反射回来与发射光束形成干涉条纹，通过计算机系统上的干涉数据处理软件将条纹对应的相位数据提取出，从而获得面型信息。本项发明旨在解决现有测量方法中难以检测焦点位于光学系统内部的问题，使基于内焦点式的光学系统具有简单、方便、高精度的检测方法，具有较大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 自准直 焦点 球面反射镜 检测装置 焦点光学系统 数据处理软件 平面干涉仪 被测系统 发射光束 干涉条纹 面型信息 相位数据 干涉仪 检测光 平面波 检测 条纹 计算机系统 装调 反射 测量 发射 干涉 计算机 应用 | ||
【主权项】：
1.一种内焦点式光学系统的自准直检测装置，其特征在于：平面干涉仪(1)设置在待测内焦点式光学系统(3)的一侧，高精度标准球面反射镜(2)或玻璃珠(4)设置在待测内焦点式光学系统(3)的另一侧，所述平面干涉仪(1)产生的光线经待测内焦点式光学系统(3)后，进入高精度标准球面反射镜(2)或玻璃珠(4)，光线又由高精度标准球面反射镜(2)或玻璃珠(4)反射，形成可分辨的竖直干涉条纹。
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