[发明专利]一种二维AMR开关传感芯片制备方法

摘要

本发明公开了一种二维AMR开关传感芯片主要由IC电路、AMR敏感单元、钝化层及引出电极组成。IC电路主要作用是获取敏感单元感知到的信号，经过处理后输出模拟信号，从而实现检测功能；AMR敏感单元是二维传感芯片的核心，主要用于感知信号并输出数字电压信号，提供给IC电路作处理；钝化层主要目的是保护敏感单元，防止敏感单元被氧化；电极的目的是方便芯片作封装处理工作，本发明能够大大降低芯片的使用面积，减少成本，降低功耗，提升产品的温度稳定性及可靠性，实现单芯片二维磁场检测。

主权项

1.一种二维AMR开关传感芯片制备方法，其特征在于：该方法该方法采用在二维AMR开关传感芯片的含IC电路的晶圆上直接生长敏感单元，然后经过真空磁场退火工艺处理，退火时，保证设备所加的磁场在300Gauss以上，磁场方向与敏感单元成45°角，退火时间保持在3h以上；得敏感单元电桥的输出模式为：在零磁场时输出端Vout=0V，当芯片处于X方向的外加饱和磁场环境下，Vout>15mV，当芯片处于Y方向的外加饱和磁场环境下，Vout <‑15mV，经过IC电路的数模转换处理后，使得芯片最终的输出结果是，在零磁场时芯片输出电压0V，在x方向饱和磁场环境下芯片输出电压为+VIN，在y方向饱和磁场环境下芯片输出电压为‑VIN，最终结果是芯片能够检测x、y两个方向的外磁场，再生长钝化层及电极，最后封装成单一芯片。