[发明专利]一种过滤装置及过滤方法有效
申请号: | 201811552181.3 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN109364570B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 王选芸 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B01D36/00 | 分类号: | B01D36/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请提出了一种过滤装置及过滤方法。过滤装置用以进行溶液的过滤。过滤装置包括气泡过滤系统,所述气泡过滤系统至少包括第一气泡过滤系统和第二气泡过滤系统,第一气泡过滤系统用以进行所述溶液的第一次气泡过滤。第二气泡过滤系统用以进行所述溶液的第二次气泡过滤。其中,所述第二气泡过滤系统的过滤精度大于所述第一气泡过滤系统的过滤精度。本申请通过设计一种过滤装置及过滤方法,以对溶液中的凝胶和气泡进行分级过滤,能够提高溶液中的气泡和凝胶的去除效率,进而提升后续涂布过程中的产品良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 过滤 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种过滤装置,用以进行溶液的过滤,其特征在于,包括:气泡过滤系统,用以进行所述溶液中气泡的过滤,所述气泡过滤系统至少包括:第一气泡过滤系统,用以进行所述溶液的第一次气泡过滤;第二气泡过滤系统,用以进行所述溶液的第二次气泡过滤;其中,所述第二气泡过滤系统的过滤精度大于所述第一气泡过滤系统的过滤精度。
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