[发明专利]一种两步法制备柔性氧化钒薄膜的方法有效
| 申请号： | 201811554189.3 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109402566B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 鲁远甫;李锐;刘文权;李光元;刘波;焦国华;吕建成 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料上形成氧化钒前驱体薄膜；步骤三，对形成有所述氧化钒前驱体薄膜的基片进行高温退火，形成具有氧化钒薄膜的复合薄膜。上述制备方法制备过程简单且容易控制，为柔性氧化钒器件的制备奠定了基础；同时上述制备方法获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好，且氧化钒与聚酰亚胺结合紧密，不易脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 步法 制备 柔性 氧化 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料上形成氧化钒前驱体薄膜；步骤三，对形成有所述氧化钒前驱体薄膜的基片进行高温退火，形成具有氧化钒薄膜的复合薄膜。
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