[发明专利]一种基于流体模型的微波干涉诊断法在审
| 申请号： | 201811554439.3 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109661094A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 魏小龙;宋志杰;徐浩军;李益文;刘毓;张文远 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 李振瑞 |
| 地址： | 710051 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的属于低温等离子体模拟方法技术领域，具体为一种基于流体模型的微波干涉诊断法，其结构包括微波矢量网络分析仪、同轴电缆、天线、微波暗室、电源接孔、外接端口和等离子体，其特征在于：所述微波矢量网络分析仪的左侧壁电性连接有同轴电缆，该种适用于透波腔低温等离子体的电子密度诊断方法，将数值模拟和波干涉法进行了结合，针对两种透波腔平板感性耦合等离子体放电源的腔体结构，研究了基于流体模型的微波单/双端反射干涉诊断法，可以更加精确地测量薄层等离子体的相移量，在放电中等离子体会出现显著地不均匀分布现象，可利用微波诊断法时需要移动天线的中心轴位置，使相移量达到最大。 | ||
| 搜索关键词： | 流体模型 等离子体 微波 低温等离子体 同轴电缆 微波干涉 相移量 透波 微波矢量网络分析仪 感性耦合等离子体 矢量网络分析 不均匀分布 中心轴位置 测量薄层 电性连接 电源接孔 腔体结构 数值模拟 外接端口 微波暗室 移动天线 放电源 干涉法 左侧壁 放电 双端 反射 离子 天线 诊断 干涉 研究 | ||
【主权项】：
1.一种基于流体模型的微波干涉诊断法，其结构包括微波矢量网络分析仪(1)、同轴电缆(2)、天线(3)、微波暗室(4)、电源接孔(5)、外接端口(6)和等离子体(7)，其特征在于：所述微波矢量网络分析仪(1)的左侧壁电性连接有同轴电缆(2)，所述同轴电缆(2)贯穿于微波暗室的内腔右侧壁，且同轴电缆(2)的左侧壁电性连接有天线(3)，所述微波暗室(4)的内腔包括等离子体(7)，且微波暗室(4)的左侧壁和底部分别开设有电源接孔(5)和外接端口(6)。
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