[发明专利]一种氮气氧化物传感器芯片及其制造方法在审
| 申请号： | 201811555112.8 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109632915A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 曾咏平;尧中华;胡国付;张喜成 | 申请（专利权）人： | 武汉泽科宁电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/41 | 分类号： | G01N27/41 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 马辉 |
| 地址： | 430056 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种氮气氧化物传感器芯片及其制造方法。该氮气氧化物传感器芯片，包括依次叠压的上氧泵电池层、尾气控制层、下氧泵电池层、多孔氧参比层、上加热基板层和下加热基板层，上氧泵电池层一面印刷上氧泵电极层，上氧泵电池层另一面与下氧泵电池层之间设有气体检测室和多孔气体扩散障层，气体检测室内设有凸台，通过凸台设计，增大汽车尾气与催化电极接触面积，使更多非氮氧化物气体被催化，提高检测精度；采用多孔进气口技术，可以过滤尾气中颗粒，更好稳定气流及支撑结构，提高芯片强度和成品率；采用多孔陶瓷支撑技术，通过多孔架构制备参考空气腔体，提高瓷片的力学强度，有利于提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 电池层 氧泵 氮气 氧化物传感器 芯片 加热基板 气体检测 成品率 凸台 氮氧化物气体 多孔进气口 催化电极 多孔气体 多孔陶瓷 空气腔体 扩散障层 汽车尾气 尾气控制 稳定气流 氧泵电极 支撑结构 参比层 中颗粒 瓷片 叠压 制备 催化 力学 制造 过滤 尾气 架构 室内 印刷 参考 检测 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种氮气氧化物传感器芯片，包括依次叠压的上氧泵电池层(1)、尾气控制层(2)、下氧泵电池层(3)、多孔氧参比层(4)、上加热基板层(5)和下加热基板层(6)，其特征在于：所述上氧泵电池层(1)一面印刷上氧泵电极层(7)，所述上氧泵电池层(1)另一面与下氧泵电池层(3)之间设有气体检测室和多孔气体扩散障层(10)，所述气体检测室内设有凸台(13)，所述凸台(13)印刷在下氧泵电池层(3)上，所述凸台(13)与上氧泵电池层(1)之间设有致密气体扩散障层(12)；所述凸台(13)将气体检测室分割成第一空腔(11)和第二空腔(14)，所述第一空腔(11)内设有第一腔体催化电极层(8)，所述第二空腔(14)内设有第二腔体催化电极层(9)和氮氧化物催化电极(15)，所述第一腔体催化电极层(8)和第二腔体催化电极层(9)印刷在上氧泵电池层(1)上，所述氮氧化物催化电极(15)印刷在下氧泵电池层(3)上；所述多孔氧参比层(4)与下氧泵电池层(3)之间设有参比电极(16)，所述上加热基板层(5)和下加热基板层(6)之间依次设有绝缘层(17)和内置加热电极(18)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉泽科宁电子科技有限公司，未经武汉泽科宁电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811555112.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
