[发明专利]基于尖端沉积Pd/Ag金纳米双锥结构的新型红外光电探测基底的制备方法在审
| 申请号： | 201811556386.9 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109365831A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 何丹农;卢静;白仕亨;涂兴龙;金彩虹 | 申请（专利权）人： | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/24 | 分类号： | B22F9/24;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人： | 董梅 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于尖端沉积Pd/Ag金纳米双锥结构的新型红外光电探测基底的制备方法，即利用弱酸还原Pd和Ag阳离子溶液的方式在金纳米双锥尖端沉积Pd/Ag合金，从而获得吸收峰在1400‑2000nm范围的尖端沉积Pd/Ag金纳米双锥结构。通过对硅片进行表面处理，将尖端沉积Pd/Ag金纳米双锥有效负载在硅片表面以构建高性能近红外光吸收层，后利用原子层沉积在得到的基底表面沉积一定厚度的氧化物薄膜，从而获得高性能的近红外光电探测基底。本发明所制备的探测基底对1400‑2000nm红外波段的光表现出良好的选择性响应，且整体制备方法易控，可重复性强，兼容性高、抗干扰能力强，能够适用于不同的工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 基底 制备 红外光电 双锥结构 探测 双锥 抗干扰能力 选择性响应 阳离子溶液 氧化物薄膜 原子层沉积 硅片表面 红外波段 基底表面 近红外光 可重复性 有效负载 兼容性 吸收层 吸收峰 硅片 构建 弱酸 合金 还原 表现 | ||
【主权项】：
1.一种基于尖端沉积Pd/Ag金纳米双锥结构的新型红外光电探测基底的制备方法，其特征在于采用弱酸还原Pd和Ag阳离子溶液的方式在金纳米双锥尖端沉积Pd/Ag合金得到共振波长在红外波段的金纳米双锥尖端沉积Pd/Ag结构，并将其负载在经过预处理的硅表面作为吸收增强层，后用ALD原子层沉积技术沉积一层氧化物保护薄膜，获得对1400‑2000nm红外波段具有良好选择性响应的红外探测基底，包括如下步骤：（1）利用弱酸还原Pd和Ag的阳离子溶液方式在金纳米双锥尖端沉积Pd/Ag合金，Pd和Ag的阳离子的摩尔量比应控制在（1‑5）：100，制备尖端沉积Pd/Ag金纳米双锥结构等离激元；（2）对预清洁的硅片利用静电吸附剂溶液进行表面处理，后静置于尖端沉积Pd/Ag金纳米双锥结构溶液中，获得负载有Pd/Ag金纳米双锥结构的基底；（3）将步骤（2）中的基底取出晾干后，利用原子层沉积技术沉积氧化物薄膜。
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