[发明专利]一种干燥微水珠的腔体有效
| 申请号： | 201811558316.7 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111336792B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 邹志文;侯永刚;朱磊;徐康宁;崔虎山;胡冬冬;陈璐;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B23/06;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟;崔建丽 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种干燥微水珠的腔体，所述微水珠含有腐蚀性、挥发性液体。其腔体包括腔体基座、密封罩、晶圆检测传感器、晶圆升降系统及加热盘，其中，所述密封罩安装于所述腔体基座上，在其一个竖直面设有自动门来传送晶圆，所述腔体基座设置有排风接口，所述排风接口与厂务酸碱排风系统相连接，所述晶圆升降系统包括传动机构和顶针，所述传动机构安装于所述腔体基座上，所述顶针与所述传动机构相连接，所述传动机构带动所述顶针穿透所述加热盘升降，使晶圆在所述加热盘上升降，所述晶圆检测传感器位于所述密封罩外顶部，用于检测所述加热盘上是否有晶圆以及晶圆是否与水平面平行。本发明的干燥微水珠的腔体有效降低了生产成本，提高了工艺稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 水珠 | ||
【主权项】：
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