[发明专利]一种适用于磁控溅射仪的自动式圆棒试样镀膜夹持装置在审
| 申请号： | 201811558631.X | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109306463A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 马毅;黄先伟;宋宇轩;陈迦南;李相清 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于磁控溅射仪的自动式圆棒试样镀膜夹持装置，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置。试样台固定装置由固定板、螺钉等部件组成；圆棒试样夹持装置由电机、螺纹套筒等部件组成。本发明结构设计巧妙，使用方便，能够自动给圆棒试样镀膜。在磁控溅射仪内应用本装置给圆棒试样镀膜，操作简单，自动性高，稳定性强，膜的厚度也比较均匀，且与基体有着良好的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 圆棒试样 夹持装置 镀膜 磁控溅射 固定装置 试样台 自动式 磁控溅射仪 螺纹套筒 稳定性强 螺钉 固定板 结合力 自动性 电机 应用 | ||
【主权项】：
1.一种适用于磁控溅射仪的自动式圆棒试样镀膜装置，其特征在于，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置；所述圆棒试样夹持装置通过试样台固定装置固定连接在磁控溅射仪试样台（7）的下部；所述圆棒试样夹持装置包括L型固定座（25）、第一电机（1）、第一螺纹套筒（2）、固定座（18）、第二螺纹套筒（17）、第一轴承（16）和第二轴承（24）；所述L型固定座（25）上设有第一电机（1），第一电机（1）的输出轴与第一螺纹套筒（2）固定连接，第一螺纹套筒（2）穿过L型固定座（25）并通过第二轴承（24）与L型固定座（25）活动连接；所述第二螺纹套筒（17）穿过固定座（18）并通过第一轴承（16）与固定座（18）活动连接；所述L型固定座（25）和固定座（18）分别与试样台固定装置固定连接。
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