[发明专利]双方形激励柔性涡流阵列传感器

摘要

本发明公开了一种双方形激励柔性涡流阵列传感器，采用4层平面结构，从上到下依次为绝缘覆盖层、第一激励线圈层、检测线圈层和第二激励线圈层，第一激励线圈层和第二激励线圈层中的激励线圈采用反相的占空比为50％方波分布，检测线圈层包括两行螺旋方形线圈，每个线圈分别位于第一激励线圈、第二激励线圈中由线圈围成的凹槽内部，每个线圈的接线端的引线从绝缘覆盖层中穿出，与相应的外界电路进行连接。本发明采用柔性的平面阵列结构，提高对复杂形状试件的检测能力。

主权项

1.一种双方形激励柔性涡流阵列传感器，其特征在于包括第一激励线圈层、第二激励线圈层、检测线圈层和绝缘覆盖层，其中：第一激励线圈层包括第一激励线圈和第一电绝缘柔性基底，第一电绝缘柔性基底作为第一激励线圈的承载衬底，第一激励线圈呈占空比为50％、M个周期的方波分布，第一激励线圈的接线端用于与激励信号源连接；第二激励线圈层包括第二激励线圈和第二电绝缘柔性基底，第二电绝缘柔性基底作为第二激励线圈的承载衬底，第二激励线圈呈占空比为50％、M个周期的方波分布，且与第一激励线圈关于方波的X轴对称分布，其余参数与第一激励线圈一致，第一激励线圈的接线端用于与第一激励线圈的输出端连接；检测线圈层包括4M个螺旋方形线圈、公共地线端和第三电绝缘柔性基底，第三电绝缘柔性基底作为螺旋方形线圈和公共地线端的承载衬底，其中4M个螺旋方形线圈呈2行2M列均匀分布，每行相邻2个螺旋方形线圈的中心距离为T/2，T表示第一激励线圈和第二激励线圈的方波周期长度，每列2个螺旋方形线圈的中心距离为A，A表示第一激励线圈和第二激励线圈的方波幅度；公共地线端与每个螺旋方形线圈的一端接线端串联，每个螺旋方形线圈的另一端作为检测信号输出端，用于和采集模块连接；将第一激励线圈层、检测线圈层、第二激励线圈层依次粘接，采用三个电绝缘柔性基底对线圈进行隔离，第一激励线圈的方波下沿和第二激励线圈的方波上沿重叠，第一行2M个螺旋方形线圈分别位于第一激励线圈中由线圈围成的2M个凹槽内部，第二行2M个螺旋方形线圈分别位于第二激励线圈中由线圈围成的2M个凹槽内部，且螺旋方形线圈不与第一激励线圈或第二激励线圈重叠；绝缘覆盖层覆盖在第一激励线圈层上方，每个线圈的接线端的引线从绝缘覆盖层中穿出，与相应的外界电路进行连接。