[发明专利]一种应用于氢化物气相外延设备的气体预热装置在审
| 申请号： | 201811558883.2 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109468680A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 黄业;卢敬权;刘鹏;王健辉 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于氢化物气相外延设备的气体预热装置,包括内设有镓舟的外管，所述外管内设有螺旋管，螺旋管沿着镓舟外围螺旋缠绕，螺旋管一端与进口管连接，螺旋管另一端与过渡连接管连接，该过渡连接管与喷淋头连接，螺旋管从镓舟上方开始以螺旋方式缠绕延伸至镓舟下方，使镓舟位于螺旋管内部。本发明通过螺旋管具有的较长传输路径，延长气体通过路径，使气体尽可能吸收热量升温至需要的温度，有效提升气体从喷淋头喷出来时的温度，提升热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 螺旋管 氢化物气相外延 气体预热装置 过渡连接管 喷淋头 外管 螺旋方式缠绕 传输路径 螺旋缠绕 气体通过 提升气体 吸收热量 热效率 进口管 应用 外围 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种应用于氢化物气相外延设备的气体预热装置,包括内设有镓舟的外管，其特征在于，所述外管内设有螺旋管，螺旋管沿着镓舟外围螺旋缠绕，螺旋管一端与进口管连接，螺旋管另一端与过渡连接管连接，该过渡连接管与喷淋头连接。
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