[发明专利]一种基于SOI的全差分电容式MEMS加速度计在审
| 申请号： | 201811558889.X | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109490576A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李绍荣;郭小伟;秦茂森;杨承 | 申请（专利权）人： | 成都力创云科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李林合;李蕊 |
| 地址： | 610054 四川省成都市天*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于SOI的全差分电容式MEMS加速度计，所述全差分电容式表面加工MEMS加速度计其结构由敏感质量块、π型弹簧梁、止挡块和固定监测梳齿组成。其中，质量块上的活动梳齿与固定监测梳齿构成差分监测电容；四个π型梁分为两组，位于质量块的上下两端，将质量块与固定锚点相连；止挡块嵌入上下锚点中，防止在高速度下损坏弹簧；该质量块具有上下两个彼此电隔离的监测质量块，以此实现全差分接口电路，降低电路中的共模噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 差分电容式 监测 止挡块 梳齿 差分接口电路 敏感质量块 表面加工 共模噪声 活动梳齿 上下两端 电容 弹簧梁 电隔离 固定锚 弹簧 两组 锚点 嵌入 电路 | ||
【主权项】：
1.一种基于SOI的全差分电容式MEMS加速度计，其特征在于，包括SOI基片；敏感结构，设置有可动梳齿；八个固定锚，均设置有固定检测梳齿；其中四个固定锚位于敏感结构的外侧，另外四个固定锚位于敏感结构的内侧；固定锚上的固定检测梳齿与敏感结构上的相对应的可动梳齿组成差分电容结构；两组对称分布的弹簧梁，将敏感结构与支持锚点相连；四个支撑锚点，对称分布于加速度计机械结构的四个端点处，固定在SOI基片上，使敏感结构悬空于SOI基片。
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