[发明专利]真空系统的磁力控制装置及真空设备有效
| 申请号： | 201811558921.4 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109609921B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 欧阳方平;高宏军;孔德明;朱旭坤;熊翔 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 黄彩荣 |
| 地址： | 410000 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空系统的磁力控制装置及真空设备，涉及真空控制系统的技术领域。真空系统的磁力控制装置包括罩体、样品支撑磁吸组件和第一磁吸组件；罩体安装在电控柜的上端；样品支撑磁吸组件设置在罩体内部，样品支撑磁吸组件上用于放置样品；第一磁吸组件套设在罩体外部，第一磁吸组件与样品支撑磁吸组件相吸附，第一磁吸组件带动样品支撑磁吸组件旋转。解决了样品的旋转需要通过连杆进入真空罩体内，影响罩体内真空度、样品表面材料沉积的问题。本发明的样品支撑磁吸组件设置在罩体内，第一磁吸组件设在罩体外，第一磁吸组件对样品支撑磁吸组件的位置固定，完成样品旋转，确保样品表面材料沉积的纯度和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 磁力 控制 装置 真空设备 | ||
【主权项】：
1.一种真空系统的磁力控制装置，其特征在于，包括罩体(100)、样品支撑磁吸组件(200)和第一磁吸组件(300)；所述罩体(100)安装在电控柜的上端；所述样品支撑磁吸组件(200)设置在所述罩体(100)内部，所述样品支撑磁吸组件(200)上用于放置样品；所述第一磁吸组件(300)套设在所述罩体(100)外部，所述第一磁吸组件(300)能够与所述样品支撑磁吸组件(200)相吸附，并且所述第一磁吸组件(300)能够带动所述样品支撑磁吸组件(200)旋转。
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