[发明专利]疏水类金刚石复合涂层及其制备方法与疏水器件及其制备方法

摘要

本发明提供了一种疏水类金刚石复合涂层及其制备方法与疏水器件及其制备方法，涉及类金刚石涂层领域，该疏水类金刚石复合涂层包括：类金刚石层，为微米柱阵列结构，表面经纳米刻蚀处理，纳米氟化类金刚石层，形成于所述类金刚石层表面。利用该疏水类金刚石复合涂层能够缓解现有技术类金刚石涂层疏水性差，无法达到超疏水性能的技术问题，达到提高类金刚石复合涂层疏水性能的技术效果。