[发明专利]一种金刚石表面结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201811562083.8 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109666917B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 黄翀;彭琎 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/04;C23C16/56 |
| 代理公司： | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人： | 陶祥琲 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金刚石表面结构及其制备方法，其中制备方法是一种以在金刚石表面制得的非金属图形结构作为掩模板；然后利用与金刚石结合紧密的非金属图形结构通过化学气相沉积法生长金刚石，金刚石填充满非金属图形结构间的空隙；将生长完金刚石的样品进行磨平抛光，使生长的金刚石上表面与非金属上表面平齐，去除非金属图形结构，制得金刚石表面结构的方法。具体包括步骤：(1)涂胶、光敏材料图形化；(2)镀非金属膜；(3)Lift‑off；(4)CVD法生长金刚石；(5)膜片抛光；(6)去除非金属，得到金刚石表面结构。本发明方法制得的金刚石表面结构顶面平整，可通过重复实施制备得到两层或多层的复杂金刚石表面结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 表面 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石表面结构的制备方法，其特征在于，具体是一种以在金刚石表面制得的非金属图形结构作为掩模板；然后利用与金刚石结合紧密的非金属图形结构通过化学气相沉积法生长金刚石，金刚石填充满非金属图形结构间的空隙；将生长完金刚石的样品进行磨平抛光，使生长的金刚石上表面与非金属上表面平齐，去除非金属图形结构，制得金刚石表面结构的方法。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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