[发明专利]激光诱导击穿光谱信号误差校正系统和方法

摘要

本公开公开了一种激光诱导击穿光谱信号误差校正系统和方法，所述系统包括：激光诱导光源、一个或多个基准源、聚焦透镜、第一激光诱导光源分光镜、第二激光诱导光源分光镜、一个或多个基准源分光镜、全反镜、收集透镜、光纤探头、光谱仪、计算机、n维可调样品台。本发明可补偿样品表面性状对于激光诱导击穿光谱的影响，且可适用于所有类型的光谱仪。

主权项

1.一种激光诱导击穿光谱信号误差校正系统，其特征在于，所述系统包括：激光诱导光源、一个或多个基准源、聚焦透镜、第一激光诱导光源分光镜、第二激光诱导光源分光镜、一个或多个基准源分光镜、全反镜、收集透镜、光纤探头、光谱仪、计算机、n维可调样品台，其中：所述激光诱导光源与所述一个或多个基准源并行放置，所述激光诱导光源用于发射诱导激光，所述基准源用于发射基准信号；所述第一激光诱导光源分光镜、一个或多个基准源分光镜分别并行置于所述激光诱导光源、一个或多个基准源的光路一侧，用于对于所述激光诱导光源和基准源发射出的光线进行反射或透射；所述聚焦透镜置于所述激光诱导光源和第一激光诱导光源分光镜之间，用于对于所述激光诱导光源发射出的激光进行聚焦；所述第二激光诱导光源分光镜置于所述第一激光诱导光源分光镜的光路后方，用于对于到达的光线进行反射或透射；所述被测样品置于所述可调样品台上，所述可调样品台置于所述第二激光诱导光源分光镜的光路后方；所述收集透镜、全反镜顺序置于所述第二激光诱导光源分光镜的一侧；所述光纤探头置于所述全反镜的输出光路上，位于所述样品表面的激光烧蚀点经所述收集透镜成像的像面处；所述光谱仪与所述光纤探头连接，所述计算机与所述光谱仪连接；所述激光诱导击穿光谱信号误差校正系统将激光诱导光源与基准源在合束后同轴入射到样品表面，并将从样品表面反射回来的信号作为基准，从而能够补偿使用因素或样品表面折射率/曲率改变导致的波长与谱强漂移。