[发明专利]投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机有效
| 申请号： | 201811573750.2 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN111352303B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 马明英;姜雪林;夏建培 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机。投影物镜波像差检测装置包括：光源，用于提供检测光束；物面光栅标记单元，用于对检测光束进行分光，以得到第一方向上的第一光束和第二方向上的第二光束；分光准直单元，用于将经过投影物镜单元的光束进行分光及准直处理；衍射单元，用于将经过分光准直单元的光束进行衍射处理，以得到两个方向的干涉图像；工件台，用于带动物面光栅标记单元、分光准直单元、衍射单元和成像探测单元在第一方向和第二方向之间的预定方向上沿直线单向步进，可以同时采集第一光束和第二光束每次步进时的干涉图像的光强，以分别获得第一方向和第二方向的波像差。从而缩短检测时间，提高波像差的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 物镜 波像差 检测 装置 方法 光刻 | ||
【主权项】：
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