[发明专利]高能脉冲激光测距机光轴检测系统及其检测方法

摘要

本发明提出一种高能脉冲激光测距机光轴检测系统及其检测方法，该系统由扩束系统、光衰减系统、光吸收系统、CCD以及后处理系统等组成，采用抗损伤阈值更高的反射式衰减；后向反射的大部分激光由光吸收系统进行处理；通过反射式光衰减器后，入射到一个可调光衰减器上，对光进行不同程度的衰减；透过可调光衰减器的激光被CCD所接收；后端处理器将CCD接收到的光斑进行数据处理，然后利用算法精确定位质心位置，从而可以确定激光束轴线的位置。本发明采用新型的光栅型光吸收系统对高能激光进行处理，因此可大大减小系统的体积，使得整个测量系统更加紧凑，可以适应更多的应用场景。

主权项

1.高能脉冲激光测距机光轴检测系统，其特征在于：包括脉冲激光器（101）、扩束镜组（102）、衰减片（103）、光吸收装置（104）、可调光衰减器（108）、CCD（109）和数据处理系统（110）；所述的脉冲激光器（101）、扩束镜组（102）、衰减片（103）、可调光衰减器（108）和CCD（109）依次沿光轴方向设置，光吸收装置（104）设置于衰减片（103）的下方，数据接收系统（110）设置于CCD（109）后端用于接收CCD（109）光斑进行数据处理；所述的光吸收装置（104）包括蓝宝石片（105）、TEC（106）和散热片（107）；所述的蓝宝石片（105）、TEC（106）和散热片（107）依次粘接于一体；所述的衰减片（103）为反射式衰减片，衰减片基底为100晶向GaAs衬底，衬底表面设置若干层反射薄膜，反射薄膜的高低折射率材料为SiO2/HfO2，生长的对数为12对；所述的光吸收装置（104）为亚波长金属光栅，金属光栅材料为金属Au，光栅周期小于入射的光波波长，金属光栅光栅条的方向与激光的偏振方向完全相同，所述的蓝宝石片（105）的衬底片大小与激光束尺寸相等。