[发明专利]一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法有效
申请号: | 201811579968.9 | 申请日: | 2018-12-24 |
公开(公告)号: | CN109458959B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 陈磊;刘致远;丁煜;孔璐;吴志飞;郑东晖;郑权;朱文华;王冲;杨光 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 薛云燕 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角相移调制组件、主干涉仪系统、折反镜和和成像系统;由光源变倾角相移调制组件出射倾斜准直光束进入主干涉仪系统,在主干涉仪系统中通过等腰棱镜传递,近掠入射的准直光束到待测面,待测面反射的测试光与等腰棱镜斜面返回的参考光形成相干光束,通过成像系统采集干涉图。方法为:首先光源变倾角相移调制组件产生与光轴平行的准直光,在主干涉仪系统中设置待测件,在CCD上获取成像清晰的干涉图;然后通过相移调制组件改变准直光倾角,在干涉图中引入不同相移量;最后依次采集系列干涉图,通过相移算法恢复相位。本发明具有精确高效、结构紧凑、操作简单、成本低的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 倾角 相移 入射 干涉仪 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置,其特征在于,包括光源变倾角相移调制组件(1)、主干涉仪系统(7)、折反镜(10)和成像系统(11);所述光源变倾角相移调制组件(1)包括顺次设置的激光器(2)、激光耦合器(3)、单模光纤(4)、相移调制器(5)和准直透镜(6);所述主干涉仪系统(7)包括共光轴依次设置的等腰棱镜(8)和待测件(9);所述成像系统(11)包括共光轴依次设置的第一成像透镜(12)、第二成像透镜(13)和CCD(14);所述激光器(2)、激光耦合器(3)产生的光源通过单模光纤(4)产生标准点光源,标准点光源发出的球面波经准直透镜(6)出射准直光束,通过相移调制器(5)调整点光源在准直透镜(6)前焦面上距光轴的距离,改变出射准直光束的倾角得到倾斜准直光束;倾斜准直光束进入主干涉仪系统(7),在等腰棱镜(8)斜面处分为测试光和参考光,其中测试光经等腰棱镜(8)斜面折射后近掠入射到待测件(9),经待测件(9)反射后与等腰棱镜(8)斜面返回的参考光会合形成干涉场,经折反镜(10)后进入成像系统(11),经过第一成像透镜(12)和第二成像透镜(13),在CCD(14)上形成相移干涉图。
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