[发明专利]蒸镀设备在审
| 申请号： | 201811579993.7 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109576650A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 徐义;岳志远 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域。主要采用的技术方案为：蒸镀设备，其包括：负载螺线圈、变频供电装置以及温控装置；所述主体中设置有蒸镀坩埚，用于容纳金属源；所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。本发明提供的蒸镀设备，其在加热工作时能够避免热量的损失，避免能源的浪费，且直接对蒸镀坩埚中的全部金属源加热，有效解决了电阻加热产生的温度梯度问题，使金属源的受热更均匀，提高了蒸镀的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 变频供电装置 蒸镀设备 螺线圈 坩埚 金属源 容纳空间 温控装置 加热 电阻加热 温度梯度 有效解决 受热 容纳 输出 检测 能源 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，其包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚用于容纳金属源；负载螺线圈，所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；变频供电装置，所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；温控装置，所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。
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